挑戰(zhàn)與需求

在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的今天，中國正加速打造自主可控的芯片產(chǎn)業(yè)。作為全球最大的半導(dǎo)體產(chǎn)品消費國，中國對芯片的需求巨大，而“中國芯”的自主研發(fā)和制造能力，不僅關(guān)乎經(jīng)濟競爭力，更涉及國家安全。從砂石到晶圓，再到精密的芯片，這一過程涉及眾多復(fù)雜工藝，每一步都對流體傳輸?shù)木群图兌扔兄鴺O高的要求。

在芯片制造的關(guān)鍵工藝中，客戶對精密泵系統(tǒng)的需求具體包括：

介質(zhì)兼容性：需要泵送介質(zhì)包括酸性和堿性試劑，要求泵具備良好的化學(xué)兼容性。

流量控制：精細(xì)的流量控制，通常為幾十毫升/分鐘，且要求±2%的流量精度。

液量范圍：根據(jù)鍍膜厚度的不同，需要幾十毫升至幾百毫升的泵送液量范圍。

工藝質(zhì)量：要求鍍膜均勻性好，膜層致密，確保芯片制造的質(zhì)量。

解決方案

針對中國芯片制造行業(yè)的特殊需求，我們提供了一套綜合解決方案。該方案以智能型蠕動泵L100-1F為核心，配備YZ1515x-A泵頭和25# PharMed管，以滿足芯片制造過程中對精密流體傳輸?shù)膰?yán)格要求。

高精度流量控制：蘭格智能泵L100-1F通過其7寸工業(yè)觸摸屏提供直觀的圖形化界面，簡化參數(shù)設(shè)置和流量校準(zhǔn)過程，確保了芯片制造中鍍膜、顯影和蝕刻等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)的高精度流量控制，精度達(dá)到±2%，直接影響到芯片的性能和質(zhì)量。

系統(tǒng)集成與多樣化控制：支持多種控制方式和接口，便于與現(xiàn)有生產(chǎn)線系統(tǒng)集成，提供觸摸屏、腳踏開關(guān)、模擬量信號等多種控制選項，增強生產(chǎn)靈活性和擴展性。

化學(xué)耐受性與成本效益：PharMedBPT材質(zhì)的軟管具有出色的化學(xué)耐受性，適應(yīng)性強，減少了在傳輸腐蝕性工藝化學(xué)品時的更換頻率，有效降低了維護成本。

生產(chǎn)效率與工藝自動化：具備參數(shù)方案保存和編程功能，使客戶能夠快速調(diào)用和執(zhí)行復(fù)雜的工藝流程，顯著提升生產(chǎn)效率，實現(xiàn)生產(chǎn)過程的自動化。

產(chǎn)品推薦

L600-1FS 智能型蠕動泵

YZII25 易裝型蠕動泵泵頭

PharMed?